半导体真空机组-真空机组-明胜机电

 再次深究，认为真空泵机组内密封水量不足，造成真空泵机组底部水量未充满，气水分离器内的空气漏入真空泵内，使得真空泵内的负压形成得不够高，喷射器的工作抽吸力不足。据此临时采用手动启动方式，半导体真空机组，先启动密封水泵运行5min，然后再启动真空泵，这样有效地控制了真空的降低，同时将冷却器进行清理(发现冷却器内较脏)，---了密封水量充足。采取以上措施后，在倒换真空泵组运行过程中，未再有真空下降的异常发生。   从真空泵机组稳定运行的---讲，其充水量必须达到泵中心线以上位置，然后才能启动，否则会因其内部动静部分触碰咬合卡涩，导致泵体损坏，同时也只有这样真空泵机组才不会因其水量少而漏空，正常运行中，密封水量不得低于200l/min。   真空泵机组出现异响后该怎么解决?   首先需要检查整套设备，确认异响来源情况，确定异响是否来自水环真空泵。若果确定异响源来自水环真空泵，则在真空泵运行时，打开泄气阀口，如果泄气阀门口打开后，异响消失，那么可以确定异响为汽蚀声，建议用户在不影响真空度需求的情况下，泄气阀口安装泄气阀门，以调节阀门开关来消除或降低汽蚀声。   若果打开泄气阀口，异响仍未消失，则需要关闭真空泵，在不拆散泵体的情况下通过各个观察口来判断泵体是否有异物，并检查泵内零件是否损坏或磨损。若上述情况步骤均未消除或降低异响，还可以试着转动轴与叶轮，检查叶轮与泵体是否产生摩擦，与分配板产生摩擦。