石湾爱德华真空泵-爱德华真空泵e2m18-明胜机电

概述

eh 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，爱德华真空泵e2m275，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于---压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度---。

应用

半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、co2 激光

功能和优势

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的---性。

eh 泵具有高的无油泵送机械装置。这可提供：

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

---的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用---级铸铁制造。

经验证的轴封布置可---没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。

轴封的设计经过优化，可---润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是---技术设备的制造商所需要的。

订购信息

edwards真空泵 eh4200 罗茨真空泵 爱德华罗茨泵 机械增压泵

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