为了满意在低温下固体和涂层材料物理性能参数的测量，研发出一套低温真空检验系统。该套设备选用固体传导方式使热沉快速降温，模拟了在高真空、冷黑环境下对试件主要性能的影响。主要对设备中热沉的降温速率、温度均匀性和控温精度等相关技术参数进行试验验证，惠阳真空机组，效果达到了预期的方针要求。
空间环境包括：真空、电磁辐射、高能粒子辐射、等离子体、微流星体、行星---、磁场和---等。对于航天材料而言，因为外层空间环境的严厉，有---针对航天材料进行试验验证。航天科技中需求做很多的环境试验，针对产品可能发生的缺陷进行勘探。
现在，国外tenney 和bemco 的热真空设备能够选用无需润滑的磁悬浮技术和控速电机的分子泵。国内除空间技术研究院自行研发运用热真空试验箱较多，的热真空试验设备的厂家和产品数量都是的，无油真空机组，没有一个厂家像美国tenney 和bemco 相同将该类设备系列化。为满意航天事业蓬勃展开的需求，立足自身展开的热真空试验箱成为环境试验设备的新课题。
一般来说，真空系统具备下列优点：
1、低噪音、低振动、可降低整厂内噪音；
2、集中放置，节省空间，整体上方便保养或维护；
3、集中供气，螺杆真空机组，气量比同条件下同数量散放的真空泵气量足；
4、节能，可按需要调节真空泵自动切换开启或关闭，节省电量；
5、储气罐配置，除可缓冲气量外，亦可某种程度上方便排水或轻度过滤，降低空气水份或其他与真空泵润滑油与制程气体介质直接接触机率真空机组
真空系统。是由真空泵、plc程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、---过滤总成等组成的成套真空系统。目前，旋片真空机组，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道，即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由---的plc控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
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