真空机组方案设计-真空机组设计-真空机组

系统首要组成部组件有：真空泵、压力传感器、真空电离规、阀门、管路、气瓶和控制器。试验腔的真空环境经过涡轮分子泵完成，涡轮分子泵是靠高转速的转子带着气体分子取得真空的一种机械真空泵。工作压力范围在1~10-8 pa。---的泵可以取得10-9 pa的---压力，分子泵首要用作真空泵和高真空泵，但涡轮分子泵不能直接对---排气，需要装备前级泵，而且其首要功能(---压力和抽速)都和装备的前级泵的容量、转速，被抽气体的种类有关。为了节省空间资源和下降能耗，体系中可充分利用空间的真空环境，分子真空机组，省去分子泵的前级泵。

油式旋片真空泵主要优点：

1.易于安装及保养

2.油镜视窗大，真空机组设计，便于确认油污染状况

3.直接驱动，免皮带.齿轮松弛或损耗

4.高抽速，水环真空机组，真空度稳定，噪音小，震动低

5.空气冷却，散热效果好，螺栓固定泵浦

6.内置油雾分离器，真空机组，有效避免油气制程污染，洁净环境

7.泵带气镇阀装置，可过滤一定量水蒸气与可凝性气体，---

8.进气口装有逆止阀，当泵停止时，逆止阀能有效避免油气逆流

用途：

主要应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、太阳能、冶炼、封装测试、真空含浸、等离子清洗等行业。