中大型真空系统-真空系统-真空系统改造升级

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从---到---真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到配置，选择真空系统时，半导体设备真空系统，应考虑下述各点：

1、真空泵的---压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的---压力低于工艺要求约一个数量级。

2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点

应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、选择真空机组：

(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，真空系统，互相补充才能满足工艺要求。

(2) 有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压力低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。

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一般来说，真空系统具备下列优点：

1、低噪音、低振动、可降低整厂内噪音；

2、集中放置，节省空间，整体上方便保养或维护；

3、集中供气，精雕机真空系统，气量比同条件下同数量散放的真空泵气量足；

4、节能，可按需要调节真空泵自动切换开启或关闭，节省电量；

5、储气罐配置，除可缓冲气量外，亦可某种程度上方便排水或轻度过滤，降低空气水份或其他与真空泵润滑油与制程气体介质直接接触机率真空系统